В России начали разработку оборудования для производства отечественной микроэлектроники
Минпромторг РФ выделил более 1,43 миллиарда рублей на проектирование автоматизированного комплекса для химической обработки кремниевых пластин, используемых в микроэлектронике. Соответствующая информация о государственном заказе размещена на портале госзакупок.
Оборудование предназначено для сушки, очистки и травления пластин диаметром от 100 до 200 миллиметров. Установка должна обрабатывать не менее сотни изделий за один цикл, автоматически подбирать нужный реагент из восьми возможных вариантов и работать с деионизированной водой. Главным условием контракта является использование компонентов преимущественно российского производства.
Победитель тендера был определен 19 июня, однако его название скрыто в реестре. Завершение всех проектных и производственных работ запланировано на конец ноября 2029 года.
